廃水の削減 プロセス水の管理と品質向上
廃棄コストを減らし、使用したプロセス水の95％までを再利用
シリコンインゴットの製造では、潤滑剤として、またシリコンのバリ除去を目的に、装置とシリコン表面の冷却に大量の水を使用します。
その過程でシリコンがしみ込んだ廃水が、シリコンインゴット製造の副産物として発生します。廃棄物処分場や処分スペースの利用には限りがあるため、効率的に廃棄管理し、再生システムを導入してコストを下げることが重要です。
ポールの最先端再生技術は、シリコンインゴットメーカーが、プロセスの性能要求を管理し、装置の悪臭や堆積物の蓄積を最小限にし、運転コストを下げることができるように、より適切な廃水管理を支援します。
ポールでは、使用済み研磨・切削水から水とシリコンスラッジを再利用するための、完全自動の次世代分離システムの提供が可能です。
まず、切削機や研磨機で使用された廃水が回収タンクに入り、バッファータンクを経由して、システムのメインユニットに搬送されます。
システムの心臓部は高濃度シリコンの物理薬品処理と組み合わせた膜ろ過（MF）装置です。汚染されたプロセス水はこのシステムで浄化され、一般に汚染プロセス水の90～95％が切削機や研磨機での再利用に十分なレベルに浄化された後にポンプで戻されます。
残りの濃縮水は、排出されるか、他の廃水と混合されるか、あるいは排出規制に適合させ、あるいはシリコン残渣を回収するためのさらなる処理が行われます。
その他のオプションはご要望に応じて提供可能です。ポールのシステムは20基以上が世界中で稼働しており、様々なシリコン含有廃水を3～33 m3/h（13～145 gallon/min）で処理しています。
利点:
- 使用済みプロセス水の95％までを高品質プロセス水として再利用
- 廃水の廃棄量と廃棄コスト減少
- プロセス水の仕様を制御することで切削・研磨性能が向上
- 装置の悪臭、配管、タンク、シンク等機器内の沈殿物滞留を低減
- 使用済みプロセス水の事前処理を管理することでシリコンと水の相互作用による薬品リスクを低減
- 化学汚染度の非常に低い脱水シリコン残渣を再利用シリコン原料として回収
廃水再生用途向けろ過技術については、当社までお問い合わせください。
廃水の削減、プロセス水の管理についてのお問い合わせは下記にご記入ください。
お問い合わせは右記にご記入ください
製造プロセスで使用される幅広い流体について、ろ過・分離・精製の技術を提供いたします